《关于MOCVD多参数在线光学传感器装置的研究》PDF+DOC
作者:方小坤,张静秋,刘冬梅
单位:扬州职业大学
出版:《扬州职业大学学报》2015年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYZZD2015020090
DOC编号:DOCYZZD2015020099
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提出一种基于双色同轴多光束阵列的多参数在线光学传感器,该传感器可进行多层膜的各种单晶、多晶和非晶结构材料镀膜过程的现场生长率和应力等参数的测量,与计算机自动控制系统相结合,可以实现镀膜工艺过程的闭环生产,达到提高产品质量的目的。
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