作者：卢凯,黄文,刘思祎,李响,林媛,冯雪 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2016年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2016030150 DOC编号：DOCDZAL2016030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用湿法刻蚀制备了基于PVDF薄膜的柔性4&#215；4压力传感器阵列，该传感器具有16个毫米尺寸的电容器单元。使用光学显微镜、原子力显微镜观测了传感器表面形貌，显示电极阵列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力电耦合效应测试的结果显示传感器的应力输入和电压输出具备高的信噪比和良好的线性关系，力电响应为12&#215；10–3 V/kPa。受力-空载响应输出显示，对传感器施加20~80 kPa范围的脉冲压力，得到了输出0.26~0.98 V的电压信号，并且放电时间少于2.5 ms。结合仿真计算研究了传感器阵列之间的电势信号影响，结果表明相邻阵列单元间的信号干扰随着阵列所受压力增加而增加并且呈现线性关系，干扰信号为0.028&#215；10~(–3) V/kPa，在1.4 mm~2尺寸时，低于178 kPa压力所产生的干扰信号可以近似忽略。

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