作者:刘伟,潘国峰,曹冠龙,邵琳伟 单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版:《电子元件与材料》2012年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZAL2012090100 DOC编号:DOCDZAL2012090109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 以钛酸丁酯的水解反应制备了ZnO掺杂的纳米TiO2厚膜。通过XRD和SEM对不同退火温度下制备出的不同掺杂量的ZnO-TiO2粉体进行物相分析和表面形貌比较,并利用气敏测试系统检测其气敏特性。讨论了掺杂量和退火温度对ZnO-TiO2厚膜气敏特性的影响,同时分析了其气敏机理。结果表明:700℃退火,w(ZnO)=4%的ZnO-TiO2结晶尺寸达到26.8 nm,体现出对丙酮蒸气单一的选择性,灵敏度为8 913,响应和恢复时间均为2 s。

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