作者:张冬至,夏伯锴,王凯,童俊 单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版:《电子元件与材料》2012年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZAL2012030280 DOC编号:DOCDZAL2012030289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势。

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