作者：石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明 单位：中国振动工程学会;上海交通大学;上海市振动工程学会 出版：《振动与冲击》2011年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCJ2011070550 DOC编号：DOCZDCJ2011070559 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差，将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响，及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计，提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角，以分散在冲击作用下传感器结构这些部位受到的应力，进而提高加速度传感器的高过载能力，并从理论仿真分析了该方法的可行性。最后利用Hopkinson杆测试方法对优化前后的加速度传感器进行冲击测试，测试结果表明，加速度计的抗高过载能力从180 000 g提高到240000 g，说明该优化方法显著，明显提高了该类加速度传感器的抗高过载能力，设计的加速度传感器达到了较理想的抗高过载能力。

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