作者：邓元龙,赵小丽,李学金,耿优福,洪学明,邱成军 单位：深圳大学 出版：《深圳大学学报(理工版)》2011年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSZDL2011010040 DOC编号：DOCSZDL2011010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems，MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯，其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法，降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差，新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量，相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致，具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法，可用于扩大测量范围，提高灵敏度。

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