作者：张广庆,赵成龙,秦明 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011090060 DOC编号：DOCCGJS2011090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响，结果显示：聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm，采用阶梯升温加热法，并以250℃作为最高固化温度时，测量结果表明该湿度传感器具有优异的敏感性能。

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