作者:陈香兰,殷宗亮,徐波 单位:上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会 出版:《仪表技术》2011年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJI2011060230 DOC编号:DOCYBJI2011060239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为测量六自由度纳米微动台的运动,研制了基于光纤微弯原理的位移传感器。设计了新颖的光纤微弯调制结构,利用补偿光纤消除了光源波动对测量精度的影响。实验证明位移传感器的测量精度为±0.048μm,位移分辨率为10 nm,显著优于同原理的其他位移传感器。

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