作者：刘英伟,乔英杰,张洪泉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011030060 DOC编号：DOCCGJS2011030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器的检测元件和补偿元件在工作时存在温度干扰问题。温度干扰会降低传感器的灵敏度，影响输出信号的准确性。为解决这一问题，采用有限元方法对传感器温度场进行了分析，根据分析结果进行优化设计：改变基板结构，增加隔热槽，加强定向散热。然后，根据改进后方案重新建立有限元模型进行模拟，结果表明，元件间温度干扰大大减少，证明新方案是可行的。

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