作者：孔明,周洋,程琦,董盈钧 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011050260 DOC编号：DOCYBJS2011050269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对机械加工行业圆度测量高速高效的要求，设计了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的压电式位移传感器的高速圆度测量系统，利用此传感器高频响、高灵敏度、高信噪比的优势，通过与电荷放大器相结合，实现高速圆度测量。通过实验可知PVDF传感器测量频率响应在1 200 Hz以上，谐振峰频率在3 000 Hz左右，解决了电感传感器在高速圆度测量中测量结果出现失真的问题。测量数据分析结果表明，此系统圆度测量误差可达到1μm以内。多次测量证明，该系统测量结果重复性好、可信性高。

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