作者:王孝,王玉花,周善波,谢行,沈传兵 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2011年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2011080310 DOC编号:DOCCGQJ2011080319 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《容栅式直线同步传感器工作原理及系统设计方法》PDF+DOC1998年第09期 王文良,杨继恩,李斌 《大位移测试数据采集系统》PDF+DOC1998年第03期 何粒,薛尚清,杨维剑,李清 《大位移测量的容栅传感器工作原理》PDF+DOC1997年第02期 刘德全,王筱华 《容栅位移传感器的高精度测量原理》PDF+DOC1994年第07期 申义俭, 于晓洋,魏振华,李颀 《半导体动态传感器》PDF+DOC1989年第05期 杜宗华 《容栅传感器在三坐标精密移动平台上的应用》PDF+DOC2005年第04期 吉爱红,汪炜,黄国平 《CPLD在数字式容栅位移系统设计与测试中的应用》PDF+DOC2004年第03期 杨重远,蔡萍 《非接触相对位移传感器》PDF+DOC2002年第12期 李昆,乔智锋,张承燕 《应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒盒失效指示的探讨》PDF+DOC2001年第05期 吴泰顺,佘启元,黎松林,黎钦华,陈树培,吴礼康,林炳杰,邰昌松,张青 《数显卡尺容栅检查仪几种检测基准的选取》PDF+DOC2009年第05期 于晓霞
  • 容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。

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