《基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计》PDF+DOC
作者:王孝,王玉花,周善波,谢行,沈传兵
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2011年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2011080310
DOC编号:DOCCGQJ2011080319
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容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。
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