作者： 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011020140 DOC编号：DOCBDTQ2011020149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 《微纳电子技术》于2002年创刊(月刊)，在短短的几年里，已成为中文核心期刊、中国科技核心期刊，并被国内外多家知名数据库收录。栏目分为：技术论坛，器件与技术，材料与结构，MEMS与传感器，加工、测量与设备，国际视点。

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