作者：王海成 单位：中国金属学会;中国有色金属学会 出版：《金属世界》2011年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSSJ2011020230 DOC编号：DOCJSSJ2011020239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 纳米薄膜材料是一种二维的纳米材料，其在厚度方向的尺寸处于纳米量级(0.1～100nm)。由于这种特殊的结构，纳米薄膜材料可以在光、电、热、磁等方面表现出优异的性能，是一种先进的功能材料。那么，纳米薄膜材料是怎么制备出来的?其原理是什么?纳米薄膜的性能如何测试?纳米薄膜制备出来后又如何应用于器件产品?……文章以磁控溅射FeNi薄膜为例，概要介绍了磁控溅射的镀膜方法，以及薄膜制备与性能测试分析的关键仪器设备，并对FeNi薄膜在传感器领域中的应用进行了简单介绍。

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