作者：王淑娥,曲艳丽,董再励,杨洋,周磊 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011120130 DOC编号：DOCBDTQ2011120139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法。在分析介电泳工作原理的基础上，利用Comsol Multiphysics仿真软件，对平面微电极条件下所产生的空间电场进行了建模仿真，研究了金纳米粒子极化模型及相关介电泳频谱特性。设计加工了基于光刻标准工艺和引线键合技术的平面微电极阵列，构建了具有三维位移平台和视频监控装置的介电泳装配实验平台。以250nm金颗粒为实验对象，在理论分析基础上，完成了在微电极阵列上的介电泳组装实验研究，并通过电特性测量验证了组装结果。实验结果表明：金纳米颗粒的介电泳组装效果与介质溶液的电导率、电场频率和幅度、金纳米粒子浓度、电极间隙及作用时间有关，在适宜的条件下，采用介电泳技术可实现对金纳米颗粒的有效操控和纳米器件装配，该方法为纳米传感器的制造提供了一种有效途径。

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