《谐振式微传感器低功耗专用信号源研究》PDF+DOC

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2. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
3. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
4. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
5. 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC 谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微......
6. 《一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统》PDF+DOC 针对硅微机械谐振式压力传感器，设计了一种新型的专用频率特性测试系统，采用直接相关原理进行微弱信号检测，简化了模拟电路设计；提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明：系统实现了对硅微机械谐振式压力传感器的幅频和相频特性的同时测量，实测结果与理论值符合，不仅给出了闭环设计的必要......
7. 《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》PDF+DOC 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题，并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测试仪器。该测试仪器对于深入掌握谐振式硅微结构传感器谐振子和闭环系统的特性和优化方法......
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9. 《硅谐振式微传感器开环特性测试与数据处理》PDF+DOC 为了精确计算出硅谐振式微传感器的谐振频率、谐振峰值和品质因数，根据硅谐振式微传感器的理论模型以及开环特性测试实测数据，通过分析讨论、仿真与实验从多方面比较了低通滤波与改进的最小二乘法等数据处理算法，并得到了整体最优的算法。所设计的相应程序为硅谐振式微传感器开环特性测试系统专用数据处理程序，同时本文讨......
10. 《《计测技术》2013年第33卷第5期目次》PDF+DOC 人物专访齿轮、光盘、微纳米鼎足而立——让真正的中国造机械问鼎天下综合评述非接触式光学应变测量技术研究进展理论与实践一种双模PID高精度控制方法时栅传感器最优化信号提取基于系统相关性的在线测量设备校准状态评估方法研究新技术新仪器谐振式微传感器同步专用信号源设计新研动态比对标准器及其温湿测量特性研究新型......