作者：宋轶琳,林楠森,刘春秀,罗金平,王利,蔡新霞 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2011年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2011030000 DOC编号：DOCNMJM2011030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对动物离体组织电生理检测的实际需求，设计并制备了一种以载玻片为基底，以微电极阵列为敏感元件，并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统(MEMS)技术中的薄膜工艺完成了微电极阵列的制备，其导电层和绝缘层分别是铂和氮化硅.采用聚二甲基硅烷(PDMS)浇铸制成埋有管道的方形灌流槽.该传感器可保持离体组织的生理活性，同时实现电生理信号的64通道同步记录.整个芯片结构紧凑，接口简单，使用方便.对芯片的电学性能进行了研究，结果表明，通过在微电极表面电镀修饰铂黑，可有效降低其交流阻抗，提高信噪比。

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