作者：刘妤,郭长文,王国超 单位：中国机械工程学会;郑州机械研究所 出版：《机械强度》2011年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXQD2011020050 DOC编号：DOCJXQD2011020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数。目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器，综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式，为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础。推导中全面考虑各变形梁的影响，所以理论计算值与仿真值吻合。推广应用算例表明，该方法具有普遍意义，可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析。

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