《MEMS低量程微加速度计的设计》PDF+DOC
作者:郭涛,林大为,向婷
单位:四川固体电路研究所
出版:《微电子学》2011年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFMINI2011030220
DOC编号:DOCMINI2011030229
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在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±;10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型,进行应力、模态及抗冲击能力分析。加速度计供电电压为5 V时,灵敏度理论值达到1.029 mV/g,与传统结构相比,极大地提高了低量程微加速度计的灵敏度。
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