作者：万真真,李小佳,王永清,施宁,孙荣霞 单位：中国光学学会 出版：《光谱学与光谱分析》2011年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGUAN2011090590 DOC编号：DOCGUAN2011090599 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计》PDF+DOC2011年第04期 万真真,李小佳,王永清,孙荣霞,施宁 《直缝埋弧焊管铣边坡口实时测量系统及其应用》PDF+DOC2020年第04期 王习彬,郝大顺,刘东 《上海有色所三项课题通过鉴定》PDF+DOC1989年第02期 单贤琦 《COSPEC系列SO_2/NO_2遥感相关摄谱仪》PDF+DOC1982年第08期 沈覆保 《钢丝张力深度测量系统设计》PDF+DOC2006年第02期 陈静,林圳杰 《一种新型激光粉尘浓度在线测量仪的研究》PDF+DOC2007年第06期 潘琦,赵延军,汤光华,许传龙,王式民

    • 辉光放电原子发射光谱仪可用于物质表面化学成分随深度分布的分析，在镀层分析、金属材料检验等领域有着广泛的应用。文章介绍了辉光深度分析的传统方法和局限性以及实时深度测量技术的近期研究，提出了一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法。文章采用激光位移传感器和根据激光测量方法设计的辉光放电光源构成实时深度测量系统，详细阐述了系统的设计方案和技术原理。系统的设计结构能够实现在辉光光谱分析的同时进行激光实时溅射深度的测量。通过实验验证和分析了激光实时测量样品溅射深度过程中产生的光源位移现象。采用双激光器实时深度测量系统对锌合金标准样品进行了溅射深度的实时测量，给出了实时深度测量曲线。通过将溅射面测量曲线与参考面曲线进行叠加，得到了样品溅射坑深度的实际值，与Dektak8型表面形貌仪测量结果一致。

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