作者：李成贵,熊昌友 单位：上海市计量测试技术研究所;上海市计量测试学会;上海市计量协会 出版：《上海计量测试》2011年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJLC2011040040 DOC编号：DOCSJLC2011040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 概述微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性的几种测量方法和测量原理，如触针法、光学法、原子力法等，并介绍市场上在用的几类代表性表面形貌商用仪器(如粗糙度仪、轮廓仪、干涉仪、测量显微镜等)的特点、性能指标及应用范围，对微纳米级表面质量测量和评价有参考价值。

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