作者：罗来武,顾菊平,茅靖峰,袁媛,曹寅翔 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2011年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2011090240 DOC编号：DOCWDJZ2011090249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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