作者：顾睿风,苏岩,朱欣华 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》2011年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB2011020210 DOC编号：DOCZDYB2011020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《功能梯度材料MEMS研究现状》PDF+DOC2019年第08期 熊鹏,戴文杰 《微型惯性测量系统及其应用》PDF+DOC2001年第04期 张文栋,董海峰,石云波 《基于MEMS微加速度计的无视觉传感器防摇控制系统研究》PDF+DOC2005年第01期 肖鹏,王冰 《新型谐振式硅微机械加速度计》PDF+DOC2003年第01期 钟莹,张国雄,李醒飞 《叉指式微硅加速度计的参数化设计》PDF+DOC2003年第Z1期 刘宗林,吴学忠,李圣怡 《汽车MEMS传感器的发展现状和未来趋势》PDF+DOC2012年第01期 许冀阳,榆林 《微惯性测量单元的误差整机标定和补偿》PDF+DOC2011年第07期 代刚,李枚,苏伟,邵贝贝 《压阻式硅微二维加速度计的加工与测试》PDF+DOC2008年第04期 陈尚,薛晨阳,张文栋,张斌珍,张国军,张开瑞 《一种硅微机械陀螺制造方法研究》PDF+DOC2015年第03期 赵轶卓 《基于MEMS的微型惯性导航技术综述》PDF+DOC2014年第09期 杜小菁,翟峻仪

    • 根据目前微观性测量单元MIMU中硅微机械陀螺仪和加速度计的主要技术性能及A/D转换技术的现状，提出了基于高集成度、低功耗和6通道16位逐次逼近型ADC的电压输出实时数据采集系统。介绍了为提高系统应用性能而采取的技术措施，并通过实际测试证实了这些措施的必要性和有效性。实验表明，此数据采集系统测出的零位稳定性和标度因数等性能指标与用Agilent六位半34401A数字万用表测出的结果一致，满足设计要求。

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