作者：张可珺,江洪敏,陈伟,杜波,贾双荣,邓少丽,唱凯,李发科,施剑锋,陈鸣 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2010年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2010060040 DOC编号：DOCYDSG2010060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种新型声表面波氨气传感器的基本工作原理和设计方法，声表面波器件的振动模式为瑞利波模式，工作频率为500 MHz。聚苯胺作为敏感膜材料，电路结构采用参比-差分输出方式。通过优化声表面波器件设计、薄膜制备工艺和气路、电路设计，研制出声表面波氨气传感器，其具有灵敏度高，响应速度快和解吸附快的特点。

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