《MOEMS低频声传感器的设计与实验研究》PDF+DOC
作者:蒋冰莉,杨坤涛,王江安,宗思光
单位:华北光电技术研究所
出版:《激光与红外》2010年第10期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGHW2010100140
DOC编号:DOCJGHW2010100149
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MOEMS声传感器是MEMS技术、微光学技术、声传感技术相结合发展的新一代声音传感技术,具有灵敏度高、抗电磁场和射频干扰等优点。针对水下潜艇对空声预警涉及的高灵敏度、低频响应好、微型化声传感器整列,研究了反射光强度调制型MOEMS低频声传感阵元。对MOEMS低频声传感器膜片的振动特性进行了有限元分析,得出振动膜片的几何参数,并对反射光强特性进行了仿真和实验。采用设计的MEMS膜片、850 nm波长的LED光源设计并制作了MOEMS低频声传感器样机,通过实验表明,该传感器低频响应好,灵敏度可达200 mV/Pa,达到了设计要求。
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