作者:李晓钰,陈向东,姚尧,李辉,杜广涛 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2010年第07期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2010070190 DOC编号:DOCYQXB2010070199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了两种新型单片电容传感器结构,用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,分析了被测物距离、电极间隙和电极厚度对传感器初始电容和灵敏度的影响,并通过实验对仿真结果进行了验证。结果表明,测量系统的灵敏度与电极间隙和被测物距离近似成反比,传感器初始电容值随电极结构复杂度提高而增大;电极厚度对电容值的影响非单调,存在最优值。

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