作者：单晓锋,杨建红 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2010年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2010110240 DOC编号：DOCBDTJ2010110249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以菲克第二扩散定律为基础，建立湿度传感器器件三明治结构模型，对聚酰亚胺电容型湿度传感器进行全面数值模拟，分析其电场分布、升降湿的动态过程及响应时间，并与实验结果进行对比分析。引入了自由体积理论对湿度传感器升、降湿过程的影响，使模拟过程更加符合实际情况，结果显示模拟结果和实验数据吻合良好，并根据对模拟结果分析，发现电极宽度是制约传感器性能的关键参数。该模型能够较准确预测制备的电容型湿度传感器性能，以此来指导高性能湿度传感器研究。

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