作者：李先懿,莫晓亮,陈国荣 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2010040040 DOC编号：DOCZKKX2010040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研制了基于石英晶体微天平方法的聚醚酰亚胺湿度传感器，研究了它对相对湿度的响应特性和灵敏度以及这种湿度传感器在高湿度对比下的循环特性和长期老化性能。结果表明：在较宽的湿度范围内，这种湿度传感器表现出良好的湿敏特性。当相对湿度从11%变化至95%时，频率变化达2000Hz。高湿度差对比下的响应时间和恢复时间分别为30和20s。在循环测试和长时间老化测试中，也表现出优良的重复性和稳定性。

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