《基于双金属膜和法布里-珀罗干涉结构的光纤温度传感器》PDF+DOC
作者:张少君,刘月明
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2010年第09期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2010090090
DOC编号:DOCCGJS2010090099
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研究了一种新型的光纤法布里-珀罗干涉腔(F-P腔)结构的温度传感器,该传感器的F-P腔由双层金属膜和光纤端面构成,当被测温度发生变化时,基于双层金属膜的“双膜热挠曲效应”使得F-P干涉腔长发生变化,从而导致F-P腔输出的光强发生变化,通过测量该光强的变化即可测定相应的待测温度。在理论分析的基础上,运用有限元分析软件ANSYS对传感器的结构参数进行了优化,并对加工和封装后的传感器进行了实验测试,实验结果表明该传感器在测温0~80℃的范围内灵敏度达到了62.82nw/℃,综合精度优于±;0.7%。该传感器具有结构简单、成本低、量程可根据双金属膜参数自由选择以及灵敏度较高等特点。
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