作者：孙萍,秦明 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010100160 DOC编号：DOCCGJS2010100169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种可用于风速风向测量的光点位置检测传感器的结构、特点、工作原理，给出了传感器的理论模型，分析了传感器测量分辨率和灵敏度。该传感器在用于大风速测量有较高的测试灵敏度。在0～20m/s测试量程内，测得风向的灵敏度为7mV/度，风速的灵敏度为2.5mv/μm。。该传感器结构简单，工艺制作方便，能与CMOS工艺兼容，无温度漂移。

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