作者： 单位：中国工程物理研究院电子工程研究所 出版：《太赫兹科学与电子信息学报》2010年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXYD2010040330 DOC编号：DOCXXYD2010040339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品，具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点，在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础，常用梁岛结构，

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