作者:曾婕,文玉梅,李平,栗建中,张小花 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2010年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2010010380 DOC编号:DOCCGQJ2010010389 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对磁电层复合式磁传感器Q值低的问题,提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构,通过测量音叉谐振频率变化量或Q值变化量达到检测静磁场的目的。采用有限元方法对磁性薄膜的位置进行了分析,发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场探测能力,并进行了实验验证。实验结果表明:测量Q值变化量比测量谐振频率变化量更优,最大灵敏度为119.471/mT,测量Q值分辨率为1,石英音叉Q值稳定度为20×10-6时,该磁传感器结构对磁场的分辨率为10-6T,敏感结构在零偏置磁场时Q值达2000左右。

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