作者：林伟,黄世震,陈文哲 单位：华南理工大学 出版：《华南理工大学学报(自然科学版)》2010年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHNLG2010090210 DOC编号：DOCHNLG2010090219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和相应的气敏传感器，通过FSEM、XRD和XPS等方法分析了复合薄膜材料的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成，测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和响应恢复等气体敏感性能.实验结果表明：该复合薄膜气敏传感器具有较好的气敏性能，对NO2有较好的灵敏度，对其他干扰气体不敏感；SnO2/WO3/MWCNT薄膜中，W、Sn、C主要以W+6、Sn+4和C的形式存在.文中还对气敏响应机理进行了初步的分析与讨论。

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