作者:李淑红,赵启大,廖继平,田爽 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2010年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2010060060 DOC编号:DOCYDSG2010060069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了声表面波气体传感器的检测原理。设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度。采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性。由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降。当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳。

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