作者：张晓晶,张博明,陈吉安,武湛君 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2010年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2010070280 DOC编号：DOCJJZZ2010070289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用微型机电系统(MEMS)加工工艺制备微悬臂梁，开发了一种由镀钯薄膜微悬臂梁和光纤布拉格光栅(FBG)组成的氢气敏光纤传感器，通过光栅波长的变化测量微悬臂梁吸收氢气时产生的位移，从而反映出环境中的氢浓度。应用弹性力学理论分析其工作原理，建立了传感器最大波长变化量与氢浓度关系的数学模型。结果表明，改变钯膜/硅悬臂梁厚度比可以提高传感器的灵敏度，厚度比为0.4时，传感器响应量最大。通过实验研究了传感器的氢响应特性，理论模型预测的最大波长变化量与实验结果十分吻合。

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