《不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析》PDF+DOC
作者:董林玺,李寿洛,陈金丹,颜海霞,许立,王光义,孙玲玲
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2010年第04期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2010040130
DOC编号:DOCCGJS2010040139
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS低频水声电容传感器的设计》PDF+DOC2017年第01期 王雁,刘梦然,张国军,李静
《新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究》PDF+DOC2010年第05期 董林玺,焦继伟,颜海霞,孙玲玲
《低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析》PDF+DOC2009年第03期 陈金丹,董林玺,颜海霞,霍卫红,李永杰,孙玲玲
《单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统》PDF+DOC2008年第03期 郭斌,陈士清
《一种新型的基于滑膜阻尼的电容式双向MEMS惯性传感器(英文)》PDF+DOC2008年第02期 董林玺,颜海霞,钱忺,孙玲玲
《高线性双电容位移式传感器的设计与应用》PDF+DOC1998年第06期 张处武,胡学同
《邻近传感器的应用(二)》PDF+DOC1992年第01期 袁凤
《电容式粮食水分检测仪的设计》PDF+DOC2003年第01期 翟宝峰,白媛
《基于MEMS惯性传感器的机器人水平姿态检测系统设计》PDF+DOC2009年第05期 何伟,陈伟
《气/固两相流螺旋式电容传感器的仿真设计》PDF+DOC2013年第10期 李文涛,叶俊
改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器。通过实例计算,证明了该结果。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。