作者：廉孟冬,金伟锋,居冰峰 单位：浙江省机电集团有限公司;浙江大学 出版：《机电工程》2010年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDGC2010120080 DOC编号：DOCJDGC2010120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为实现表面微形貌测量以及精密平台的定位测量，设计了一种结构简单的小体积二维微角度传感器。该微角度传感器基于激光自准直原理，主要由作为光源的激光二极管、自准直光路和作为位置探测器的四象限光电二极管组成。分析计算发现，角度传感器的灵敏度与光路中物镜的焦距无关，因此选用了焦距较短的物镜，以实现小体积、高灵敏度的目的。四象限光电二极管具有二维位置探测能力，利用其作为光电转换装置，微角度传感器可以同时探测两轴角度变化值。实验结果表明，微角度传感器的体积可达到25&#215；20&#215；13 mm3，角度测量范围&#177；1 200 arcsec，分辨率为0.1 arcsec。实验中利用激光自准直仪进行对照，有效验证了这种新型二维光学自准直微角度传感器的可行性。

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