作者：宁大勇,高云国,刘稀凤 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2010年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2010030310 DOC编号：DOCGXJM2010030319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了保证光学精密仪器工作基础的高稳定性，设计了一种新型的减振平台。该减振平台采用精度为10nm的位移传感器作为测量装置，通过位移传感器测量隔振平台支撑弹簧的长度变化，计算出支撑力的变化；然后，调整电磁驱动器的电磁力，使光学精密仪器受力平衡，达到减振的目的。理论及仿真分析表明，采用这种减振方式有很好的减振效果。同时，由于每级减振装置之间是彼此独立的，这种减振方式更有利于多级减振。实验结果显示，基座振幅为0.22mm时，减振台支撑面振幅为1.6μm；基座振幅为0.20mm时，减振台支撑面振幅为1.4μm；基座振幅0.18mm时，减振台支撑面振幅为1.2μm；基座振幅为0.15mm时，减振台支撑面振幅为1.0μm，表明该平台有效地起到了减振作用。

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