作者：孙颖,朱大中 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2010年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2010020210 DOC编号：DOCYQXB2010020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于标准0.6μm CMOS工艺设计实现了单片集成可用于细胞外微环境溶液pH值和温度同时检测的混合信号生物传感芯片。利用多层浮栅结构场效应管作为pH值传感单元，在恒流恒压电路控制下得到与pH值成反比的电压输出。pH敏感器件与参比器件的差模输出方式有效减小了电路和溶液的噪声。pH值在1～13范围内，传感器平均灵敏度为35.5mV/pH，线性度优于3.2%。芯片上还集成了与绝对温度成正比的温度传感器，可实时检测生物微环境溶液的温度变化，在25～100℃范围内，输出线性度优于1.7%，平均灵敏度为8.8mV/℃。此外，构建了传感芯片的原型应用电路，对传感器的输出电压进行软件修正后以温度和pH值形式进行显示，以实现两个参数的实时监测。在25～70℃温度范围内，温度测量偏差在-0.6～+1.1℃以内，pH值的测量偏差≤&#177；0.3pH。该芯片具有一定的可重用性，既可用来研究温度变化对细胞微环境溶液pH值的影响，又可作为IP核兼容集成于相同工艺的其他传感器电路中。

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