作者：颜友钧,李云飞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2010年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2010030190 DOC编号：DOCCGQJ2010030199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 阐述了动态非接触式硅片测试仪的原理、组成、功能和特点。从虚拟仪器的原理出发，构建了基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试平台，它将电容位移传感器测距技术、电涡流传感器体电阻测试技术和红外光脉冲传感器半导体P/N极性测试技术进行有机的融合，不仅模拟了信号发生器、数字示波器、程控电源、数字万用表等测试仪器，而且，还具有数据管理、运动控制、位置检测等功能，能对太阳能电池硅片厚度、电阻率、P/N极性等参数进行高速、精确检测和动态筛选，是光伏产业大规模生产的必备之选。

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