作者：汪红,汤俊,刘瑞,陈晖,丁桂甫 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2010年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2010050270 DOC编号：DOCGXJM2010050279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试，开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先，根据有限元模拟优化设计测试样片，使其能够易于夹持、准确对中，以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成，以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后，应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明，该系统能够精确测试试样应变，精度达到0.01μm，拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa，抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。

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