作者：王伟伟,张敏,李凌智,柳清菊 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2010年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2010050370 DOC编号：DOCGNCL2010050379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着微型机电系统及集成电路的发展，器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜，对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术，分析了各自的优点及不足，并对其以后的发展趋势做了简要分析。

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