作者：李小换,邹其利,张世名 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10570 DOC编号：DOCYBJS2009S10579 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量，目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究，通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究，成功研制出超低温薄膜压力传感器，并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试，结果表明传感器性能指标优异，实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。

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