《双声路声表面波毒剂传感器的设计》PDF+DOC
作者:陈传治,马晋毅,左伯莉,江洪敏
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2009年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2009040300
DOC编号:DOCCGQJ2009040309
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对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据。
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