《新型宽温区压力传感器技术》PDF+DOC
作者:段磊
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2009年第12期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2009120070
DOC编号:DOCYBJS2009120079
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为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染。制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55~+400℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度。给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果。
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