作者：韩有君,王晓蕾,施健康,慕新仓 单位：长春气象仪器研究所;中国仪器仪表学会气象水文海洋仪器分会 出版：《气象水文海洋仪器》2009年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQXSW2009010020 DOC编号：DOCQXSW2009010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器，传感器由四个相互正交的电容器构成，每个电容器包括可动极板和固定极板，此结构将风速和风向信息转换为可动极板的位移，通过测量四个电容器的电容来检测风速和风向。基于流体力学原理对传感器进行了分析，理论计算了传感器的输出电容和风速风向之间的变化关系，为传感器设计了一套基于MEMS的加工工艺流程。

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