作者:杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2009年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2009040190 DOC编号:DOCCGQJ2009040199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红 《CMO S电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真》PDF+DOC2005年第12期 王阳,陈军宁,柯导明,徐超 《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC2009年第12期 崔千红,杨子健,韦波,杨建红 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC1992年第01期 邹德恕,王东凤 《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC2005年第07期 陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明 《CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2003年第06期 顾磊,秦明,黄庆安 《具有SiO_2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究》PDF+DOC2003年第06期 谢琼,杨文,常爱民,康健 《高分子电容式湿度变送器研究》PDF+DOC2003年第S2期 谢光忠,黄春华,蒋亚东,杨邦朝 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳 《一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2014年第09期 曹新亮,黄宝瑞
  • 改变传统丝网印刷制作电极的方法,采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。