作者:沈广平,秦明,黄庆安,张骅,吴剑 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2009年第05期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2009050180 DOC编号:DOCYQXB2009050189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计》PDF+DOC2007年第11期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《二维MEMS风速风向传感器的设计与测试》PDF+DOC2007年第Z1期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《高稳定矿用风速风向传感器的研究》PDF+DOC2020年第03期 张东,陈斌 《基于MEMS流量传感器的智能燃气表》PDF+DOC2020年第02期 胡芸华,刘勋,李涛涛,陈伟明 《摩托车燃油消耗量测量的研究》PDF+DOC1995年第05期 陈辉,王义昌,刘文豪 《从对视觉的仿生看传感器的发展》PDF+DOC1992年第01期 黄金彪 《银掺杂的半导体氧化物二氧化碳传感器研究》PDF+DOC2003年第04期 刘锦淮,刘伟,张鉴,余增亮 《CMOS电容式湿度传感器特性研究》PDF+DOC2011年第04期 刘岩,赵成龙,聂萌,秦明 《MEMS压力传感器的温度补偿》PDF+DOC2009年第01期 关荣锋,王晓雪 《MEMS热敏微流量传感器研究》PDF+DOC2008年第04期 刘国华,张伟,徐进良
  • 为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文分别在玻璃和陶瓷衬底上利用MEMS剥离工艺加工出了热风速传感器,并进行了风洞测试。实验结果表明,两个传感器均可以完成360°风向检测,风速量程超过10m/s。此外,通过对两组测量结果的比较可以发现玻璃衬底传感器的灵敏度比陶瓷衬底高,这与有限元模拟结果完全吻合。

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