作者：王永强,冯洁,陈翔,李福泉,石海平 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2009年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2009040060 DOC编号：DOCZKKX2009040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]&#215；10/Ta，巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜，利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器，GMR电阻线条的线宽分别为3μm和5μm。测试了单个GMR传感器的特性，并将该传感器件和外接可调电阻组成惠斯通电桥，采用该GMR电桥对Dynal公司的MyOne磁珠进行了检测。分别测试了施加变化垂直磁场和施加间歇式恒定垂直磁场时GMR电桥信号对传感器表面覆盖磁珠的响应，研究了GMR电桥信号和磁珠覆盖率的关系。选用器件电阻线宽分别为3μm和5μm的传感器测试了器件线宽对传感器灵敏度的影响。结果表明，GMR传感器能够检测到磁珠的存在，最低能检测的磁珠数量约100个，且GMR电桥信号与磁珠覆盖率基本成正比，器件的灵敏度与传感器线宽基本成反比。

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