《电容惯性传感器的结构分析》PDF+DOC
作者:赵德申,胡雪梅
单位:武汉理工大学
出版:《武汉理工大学学报》2009年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWHGY2009060360
DOC编号:DOCWHGY2009060369
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从质量块结构和梁结构2个方面进行分析,指出了定齿偏置质量块结构和折叠梁的梳齿式微机械加速度计的综合性能最好,并通过分析计算出了折叠梁在检测方向的刚度,为电容式惯性传感器进一步优化设计奠定了坚实的理论基础。
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