作者：张建刚,庞程,方震,赵湛 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009060290 DOC编号：DOCGXJM2009060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点，在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术，本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm&#215；3.5mm&#215；0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器，铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程，给出了实验和测试方法。结果表明，压力传感器的精度优于0.05%；温度传感器的精度为0.3%；湿度集成传感器的量程为25%RH～95%RH，其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。

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